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高纯气体管道施工
- May 24, 2018 -


一、前言

随着我国半导体、制芯业的发展,高纯气体管道的应用也越来越广泛,象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道,因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。


二、适用范围

本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试,焊接薄壁不锈钢气体管道,同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。


三、工艺原理

    根据工程特点,工程的施工前后分为三个步骤,每一步都要经过严格的质量和洁净度检查,第一步是管道的预制,为保证洁净要求,管道的预制一般是在1000级的预制间内进行;第二步是现场安装;第三步是系统的测试,系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。

 

四、主要施工要点

(一)施工前的准备

    1、组织劳动力,准备施工中使用的机具、设备。

    2、搭建预制间,洁净度1000级。

    3、施工图分析,根据工程特点及实际情况编制施工方案,做好技术交底。


(二)管道预制

    1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高,为了减少安装现场的焊接工作量,确保洁净度,所以管道的施工先在1000级的预制间中预制,施工人员应穿洁净服,使用的工机具应保证洁净,另外施工人员应有较强的洁净意识,施工过程尽量减少对管子的污染。       

     2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具,切出的端面绝对和管轴心线垂直,切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染,下好的料应分组编号以便于组对焊接。       

     3、管道焊接,管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机,试焊样品,样品合格后,方能焊接,进行完一天的焊接后,再焊样品,如果样品合格,由于焊接参数一直储存在焊机里,自动焊机焊接时又非常稳定,所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制,减少了由于人为因素对焊接质量的影响,既提高了工作效率,又能得到高品质的焊缝。

    4、焊接工序

 高纯气体管道施工


(三)现场安装

1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净,安装人员必须戴洁净手套。

2、支架设置距离应符合图纸设计要求,每一固定点套上EP管专用的橡胶套。

    3、预制好的管子运到现场,不能磕碰踩踏,不能直接放到地面上,担上支架后,立即上管卡。

4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。

5、焊接完毕经有关人员对焊口样品及管道上的焊口检验合格后,贴焊口标签,填写焊接记录。


(四)系统测试

1、系统检测是高纯气体施工的最后一环,它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。

2、系统测试使用的气体首先是合格气体,气体的洁净度、含氧量、露点及碳氢化合物应符合要求。

3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体,在出口处用仪器测量,管道里吹出的气体合格了,说明这条管路指标合格了。


五、材料

高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管,通常采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。主要有铬、镍、钼三种合金元素,铬的存在提高了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性,形成一层富铬氧化膜;而钼的存在则提高了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性;镍是奥氏体的形成元素,它们的存在既提高了钢的耐腐蚀性,又提高了钢的工艺性能。